FC固晶机(倒装芯片贴片机)
倒装芯片贴片机取料手臂将切割完成的晶粒 (DIE) 从 料栏拉至扩晶机构上进行扩晶,同时,基板推料机构将基板从料栏推至输送带上,再由输送带传送至基板载台上,一次供两片基板。由视觉补偿,顶针将晶粒顶离蓝膜,取料翻转手臂从蓝膜上吸取晶粒后,将晶粒进行180度翻转,贴装手臂从翻转手臂上吸取晶粒,运动至蘸助焊剂位置蘸取助焊剂,由视觉对位,将晶粒贴装至基板上。两个贴装手臂分别贴装两块基板,基板贴满后由输送带输送至收料栏中。晶圆上的晶粒取完后由取料手臂推回料栏中。
倒装芯片贴片机适用范围:
芯片封装(倒装工艺)
倒装芯片贴片机设备特点
无接触式视觉对中系统,自动校正功能。生产中无需要停机快速在线换料。双头贴装,快速提升生产效率。XY轴运行轨道采用坚固双路轨结构。人机交换界面,实时监控贴装状态。高精度、高稳定性的机械结构及传动部件。设备参数
项目 | 参数值 |
设备名称 | 倒装芯片贴片机 |
设备型号 | DFC-1202A |
产能( UPH) | 6000(与工艺参数要求相关) |
贴合精度(μm) | ±5μm |
贴合头贴合力 | 1N-40N |
晶圆尺寸 | 最大到12寸 |
定位方式 | 固定拍照+移动拍照 |
料栈数量 | 100(8mm为标准) |
喂料器类型 | NXT兼容电动 |
自动换吸嘴 | 支持 |
功率 | 4.5KW |
电源 | 三相AC380V |
压缩空气 | 0.5-0.7MPa |
设备尺寸 | 3200x1310x1708mm(长x宽x高) |
设备重量 | 约2600KG |