广东科卓半导体设备有限公司
广东科卓半导体设备有限公司创立于2016年,致力于先进半导体封装设备的研发与制造,设备性能对标国际先进同行,立志成为中国先进封装设备国产化引领品牌。
公司生产的晶圆切割机、IC成品切割机、成品切割高速分拣机、FC倒装固晶机等系列先进封装设备,已在十余家封装客户产线上运行,切割品质稳定,精度在3μm以内,型号齐全、交期短、成本优势显著。
晶圆切割机:切割精度高(0.003mm以内/310mm)、稳定性强、自动定位校正,切割清洗同步;适用于晶圆、SiC晶圆、陶瓷基板、玻璃基板、光学玻璃、磁性材料等;
IC成品切割机:切割精度高(0.005mm以内/310mm)、稳定性强、主轴间距优化到20mm以内,提高产率5~10%;适用于封装产品的切割、DFN、QFN、BGA以及陶瓷基板、mini LED灯板灯等。
IC成品切割高速分拣机:高精度、高稳定机身, 双工作台双轴切割,全闭环轨迹控制,16组分拣吸嘴;适用于封装产品的后端切割、清洗、干燥、检测、分拣、装盘等工序的一体化应用。
FC固晶机:高精度(±5µm),双工作台双吸嘴交替作业,无接触式视觉对中,自动校正;适用于先进封装工艺中的倒装芯片固晶。